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SEM测试需要使用离子溅射仪镀膜

发表时间:2020-06-18 20:29

为什么扫描电镜样品要镀膜?

因为非导电样品绝缘电阻大,在电子束的连续扫描下,样品表面逐渐积累负电荷,形成相当大的高的负电场,排斥入射电子,二次电子发射不稳定,并随机偏转二次电子轨迹影响探测器接受,造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹,这就是所谓的“荷电效应”,也称“充电效应”。

通常镀一层导电薄膜可以提高样品的导电性,表面的负电荷通过导电膜释放入地,消除荷电现象。

当然电荷释放的提前时膜层必须与金属样品台相连接,形成导电通道。连续的导电膜也可以提高样品的导热性,减小热损伤。目前实验室常用的镀膜技术通常使用离子溅射仪。

镀膜效果好能更好的测试出样品表面的形貌状况,并且所镀膜的材质选用也会对EDS的测试结果产生一定的影响。

我司的镀膜手段有镀碳(C)、镀金(Au)、镀铂(Pt)。

离子溅射仪.jpg

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