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磁控离子溅射仪介绍

发表时间:2019-11-21 22:13

  Microhezao磁控离子溅射仪专供扫描电镜进行样品制备的仪器,它可以在高纯氩气的保护下进行多种离子处理,也可用于真空蒸镀其他金属材料。经该仪器处理的样品既可以用于形貌观察又可进行成分分析。该机器配有机械泵系统,特别适合于真空镀膜的用户选用。

  磁控离子溅射仪与直流离子溅射仪相比,具有镀膜速度快,试样升温较低,且沉积效率高等诸多优点。试样升温低,这样蒸镀出来的金属膜更加细腻。这类溅射仪非常适合于蒸镀场发射电镜的样品,同时也适用于制备电极材料等。

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