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GVC-2000磁控离子溅射仪
HZOIN-9Z: 2000
编号: GVC
电压: 600V
品牌: Microhezao
精度: 5-10nm
工作气体: 氩气空气氮气
靶材种类: 金铂金银铜
真空腔室: 直径120高度130
保护功能: 真空保护电流保护
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全自动离子溅射仪

  磁控离子溅射仪在电子显微镜领域内,往往需要对样品进行表面镀膜从而使样品表面成像或者图像质量得到改善。在样品表面覆盖一层导电的金属薄膜可以消除荷电反应,降低电子束对样品表面的热量损伤,可以提高SEM对样品进行形貌观察,所需要的二次电子信号量。

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1)需要溅射喷金的样品

a)第一类样品是电子束敏感的样品,主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

b)另一类样品是非导电的样品,由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”,这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应,可在样品表面镀一层金属导电层,镀层作为一个导电通道,将充电电子从材料表面转移走,消除荷电效应。样品通过使用磁控离子溅射仪在扫描电镜成像时,溅射材料可以增加信噪比,从而获得更好的成像质量。




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