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蔡司sigma300维修保养
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 蔡司公司推出Sigma300场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计,将低电压成像技术发挥到了极致,采用适宜的探针电流范围,降低50%的信噪比从而提升了85%的衬度信息。Sigma300将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合,多种探测器可选:用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma自动的四步工作流程大大节省了设置与分析操作的时间,提高效率。

【技术参数】

分辨率:1.0nm@30kV STEM

                1.0nm @15 kV  

                1.8nm @1kV

放大倍数:10-1,000,000×

加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)

探针电流: 3pA~20nA(100nA选配)   稳定性优于 0.2%/h

低真空范围: 2-133Pa (Sigma 300VP可用)

样品室: 365 mm(φ),275mm(h)

样品台:5轴优中心全自动   

           

系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制

存储分辨率:32k x 24k pixels

保养维修配件

  1. 热场灯丝:Zeiss SIGMA300 场发射电镜适用型,型号AGA201Z;

  2. 六孔光阑:6 HOLE APERTURE,7/10/20/30/60/120μm孔径;

  3. 铝密封圈:Zeiss SIGMA300 场发射电镜适用

  4. 铜圈:Zeiss SIGMA300 场发射电镜适用


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